EP-Patentverletzung: Unterdruckbetätigtes Tellerventil in Gaszylinder (Halbleitergase)

Landgericht Düsseldorf · 4a O 435/05 · 08.11.2006

KI-Zusammenfassung

Die Klägerin nahm Wettbewerber wegen Vertriebs eines Gaszylindersystems („A1“) für toxische Halbleiterprozessgase auf Unterlassung in Anspruch. Das LG Düsseldorf bejahte eine wortsinngemäße Verletzung von Patentanspruch 1, da das im Innenvolumen angeordnete Tellerventil erst bei Anlegen eines subatmosphärischen Steuergases öffnet und keine weitergehende Regelfunktion verlangt. Eine mittelbare Patentverletzung aus Anspruch 14 verneinte das Gericht mangels hinreichender Darlegung, dass das A1-System den Ausgabedruck durch den Druckregler auf den subatmosphärischen Sollwert reguliert. Das Verfahren wurde nicht ausgesetzt, weil der Rechtsbestand von Anspruch 1 trotz Einspruchs als hinreichend gesichert erschien.

Ausgang: Unterlassung wegen Verletzung von Patentanspruch 1 zugesprochen; weitergehende Ansprüche aus Anspruch 14 verneint.

Abstrakte Rechtssätze

Patentanspruch 1, der ein im Behälterinnenvolumen angeordnetes Ventil verlangt, ist nicht dahin auszulegen, dass das Ventil zwingend den Ausgabedruck konstant regeln muss, wenn eine solche Regelfunktion erst in Unteransprüchen als bevorzugte Ausgestaltung vorgesehen ist.

Ein Ventilmerkmal ist wortsinngemäß verwirklicht, wenn das Ventil das Ausgeben von Fluid bis zum Anlegen eines unter subatmosphärischem Druck stehenden Steuergases von außerhalb verhindert und sich bei dessen Erhalt öffnet; weitergehende Funktionen sind nur zu verlangen, soweit sie der Anspruch ausdrücklich fordert.

Die Darlegung einer (mittelbaren) Patentverletzung eines Verfahrensanspruchs erfordert substantiierten Vortrag zur Verwirklichung der anspruchsgemäßen Regelungs-/Selektionsmerkmale; bloße Mutmaßungen ohne belastbare Mess- oder Funktionsnachweise genügen nicht.

Wird ein bestreitendes Vorbringen durch plausible Messdaten gestützt, obliegt es der beweisbelasteten Partei, konkrete Tatsachen vorzutragen, die eine Beweisaufnahme rechtfertigen; andernfalls liegt unzulässige Ausforschung vor.

Bei anhängigem Einspruch ist eine Aussetzung des Verletzungsprozesses nicht veranlasst, wenn der Rechtsbestand des Klagepatents nach dem Vorbringen nicht mit hinreichender Wahrscheinlichkeit erschüttert ist, insbesondere wenn geltend gemachte Entgegenhaltungen zentrale Anspruchsmerkmale nicht offenbaren.

Tenor

I.

Den Antragsgegnerinnen wird es bei Meidung eines vom Gericht für jeden Fall der Zuwiderhandlung festzusetzenden Ordnungsgeldes bis zu 250.000,- Eur, ersatzweise Ordnungshaft bis zu sechs Monaten, oder eine Ordnungshaft bis zu sechs Monaten, im Falle wiederholter Zuwiderhandlung bis zu insgesamt zwei Jahren, in der Bundesrepublik Deutschland untersagt,

eine Fluidspeicher- und Ausgabevorrichtung für die Halbleiterherstellung mit:

einem Fluidspeicher- und Ausgabebehälter, der ein Innenvolumen bestimmt zum Bereithalten eines unter Druck stehenden Fluides und einen Auslassanschluss besitzt, und einem in dem Innenvolumen des Behälters angebrachten und mit dem Anschluss in Verbindung stehenden Tellerventil, gekennzeichnet durch das Ventil, das so lange geschlossen bleibt, um das Ausgeben von Fluid aus dem Behälter durch den Anschluss zu verhindern, bis das Tellerventil ein unter subatmosphärischem Druck stehendes Gas von außerhalb des Behälters erhält, und auf den Erhalt des unter subatmosphärischem Druck stehenden Gases hin sich öffnet; und der subatmosphärische Gasdruck einen vorbestimmten Wert nicht überschreitet,

anzubieten, in Verkehr zu bringen oder zu gebrauchen oder zu den genannten Zwecken einzuführen oder zu besitzen.

II.

Die Antragsgegnerinnen tragen die Kosten des Verfahrens ge-samtschuldnerisch.

Tatbestand

Die Parteien sind Wettbewerber auf dem Gebiet der Belieferung der Halbleiterindustrie mit speziellen Fluiden, insbesondere Gasen. Diese Fluide werden in unter Druck stehenden Behältern geliefert, die als Speicher- und Ausgabevorrichtung dienen.

Die Klägerin ist eingetragene Inhaberin des europäischen Patentes x xxx xxx (Anlage K 3a, deutsche Übersetzung Anlage K 11, nachfolgend Klagepatent), dessen Verfahrenssprache Englisch ist. Das Klagepatent, das auch mit Wirkung für die Bundesrepublik Deutschland erteilt wurde, wird beim Deutschen Patent- und Markenamt unter der Registernummer xx xxx xx xxx geführt. Das Klagepatent wurde am 28. April 1999 unter Inanspruchnahme der xx-Priorität xx xxx vom 28. April 1998 angemeldet. Die Offenlegung der Anmeldung erfolgte am 4. November 1999. Die Patenterteilung wurde am 28. September 2005 veröffentlicht.

Das Klagepatent betrifft ein Lagerungs- und Verteilungssystem für Flüssigkeiten. Die für den Rechtsstreit maßgeblichen Patentansprüche 1 und 14 haben in der veröffentlichten deutschen Übersetzung folgenden Wortlaut:

Patentanspruch 1

Fluidspeicher- und Ausgabevorrichtung (10, 110, 300) für die Halbleiterherstellung mit:

einem Fluidspeicher- und Ausgabebehälter (12, 112, 302), der ein Innenvolumen (22, 133, 324) bestimmt zum Halten eines unter Druck stehenden Fluids und einen Auslassanschluss besitzt, und

einem Ventil (26, 332), das in dem Innenvolumen (15, 328) des Behälters befestigt ist und in Verbindung mit dem Anschluss steht, gekennzeichnet durch

das Ventil (26, 332), das so lange geschlossen gehalten ist, um das Ausgeben von Fluid aus dem Behälter (12, 112, 302) durch den Anschluss zu verhindern, bis das Ventil ein Gas bei subatmosphärischem Druck von außerhalb des Behälters erhält, und auf den Erhalt des Gases bei subatmosphärischem Druck hin öffnet; und

wobei der subatmosphärische Gasdruck nicht höher als ein vorbestimmter Wert ist.

Patentanspruch 14

Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterproduktes unter Verwendung eines Halbleiterprozessfluids, das in einem unter Druck stehenden Behälter (12, 112, 324) mit einem Innenvolumen (15, 328), das das Fluid enthält, enthalten ist,

dadurch gekennzeichnet, dass

dass das Fluid in dem Innenvolumen eingedämmt ist durch einen Druckregler (28, 332) in dem Innenvolumen in einer Fluidflussbahn (334, 336, 332, 330, 320), die durch den Druckregler für einen Fluidfluss stromabwärts von dem Druckregler geschlossen ist,

selektives Ausgeben des eingedämmten Fluids durch Öffnen der Fluidflussbahn durch den Druckregler hindurch und stromabwärts von demselben, Auslassen des Fluids mit einer Geschwindigkeit, die durch den Fluiddruckregler bestimmt ist, und

Leiten des Fluid zu einer Halbleiterherstellungseinrichtung (220) ,

wobei der Ausgabeschritt das Zuführen von Gas zu dem Druckregler bei oder unterhalb eines spezifizierten subatmosphärischen Drucks aufweist, und wobei der Druckregler so eingestellt ist, dass der Druck des ausgegebenen Fluids auf den subatmosphärischen Druck reguliert ist.

Gegen den Rechtsbestand des Klagepatentes legte die Beklagte zu 2. unter dem 28. September 2005 Einspruch beim Europäischen Patentamt ein, über den noch nicht entschieden worden ist.

Nachfolgend abgebildet sind zeichnerische Darstellungen bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung, welche aus der Klagepatentschrift stammen. Figur 1 zeigt eine schematische Seitenansicht eines Fluidspeicher- und Ausgabesystems im Querschnitt, Figur 3 eine schematische Seitenansicht und Figur 6 eine teilweise geschnittene Ansicht des Reglers des Fluidspeicher- und Ausgabesystems gemäß der Figur 3.

Die Beklagten bewerben und vertreiben unter der Bezeichnung "A1" in Deutschland Produkte für die Speicherung und Ausgabe von toxischen Gasen, die bei der Halbleiterherstellung verwendet werden.

Die Produkte der Beklagten werden in einem Artikel beschrieben, welchen die Klägerin als Anlage K 6 zur Gerichtsakte reichte. Es handelt sich hierbei um einen Nachdruck eines Artikels, der auf der Vierzehnten Internationalen Konferenz für Ionenimplantationstechnologie veröffentlicht wurde und von Mitarbeitern der Unternehmensgruppe der Klägerin mitverfasst wurde. Nachfolgend abgebildet ist die aus der Publikation stammende Figur I, welche den Aufbau der streitgegenständlichen Vorrichtung wiedergibt.

Der Aufbau des angegriffenen A1-Produktes ergibt sich ferner aus der als Anlage K 7 vorgelegten Power Point Präsentation, worauf Bezug genommen wird. Auf den Slides 3 und 4 der Anlage AS 15 werden die A1-Produkte beschrieben. Nachfolgend abgebildet ist Slide 6, welcher den Aufbau und die Funktionsweise des Ventils zeigt, sowie Slide 9, welcher ein Diagramm betreffend die Wirkungsweise des Gerätes unter Testbedingungen wiedergibt.

Die Klägerin vertritt die Auffassung, dass das A1 Gerät von der Lehre nach den Patentanspruch 1 wortsinngemäßen Gebrauch mache so dass in den Vertriebshandlungen der Beklagten eine Verletzung des Klagepatentes zu sehen se. Zudem begingen die Beklagten im Hinblick auf Patentanspruch 14 eine mittelbare Patentverletzung, indem sie ihr Produkt zur Benutzung des darin unter Schutz gestellten Verfahrens vertrieben.

Die Klägerin beantragt,

I.

1.) es den Beklagten bei Meidung eines vom Gericht für jeden Fall der Zuwiderhandlung festzusetzenden Ordnungsgeldes bis zu 250.000,- Eur, ersatzweise Ordnungshaft bis zu sechs Monaten, oder eine Ordnungshaft bis zu sechs Monaten, im Falle wiederholter Zuwiderhandlung bis zu insgesamt zwei Jahren, in der Bundesrepublik Deutschland zu untersagen,

einen mit mindestens einem Ventil versehenen Druckbehälter

zur Verwendung in einem Verfahren zum Herstellen eines Halbleiterproduktes unter Verwendung eines Halbleiterprozessfluids, das in einem unter Druck stehenden Behälter mit einem das Fluid enthaltenden Innenvolumen enthalten ist, dadurch gekennzeichnet, dass das Fluid in dem Innenvolumen durch einen Druckregler eingegrenzt ist, der in dem Innenvolumen in einer Fluidflussbahn angeordnet ist, und die Fluidflussbahn durch den Druckregler gegenüber einem Fluidfluss stromabwärts von dem Druckregler geschlossen ist; das eingegrenzte Fuid durch Öffnen der Fluidflussbahn durch den Druckregler hindurch und stromabwärts von demselben selektiv ausgegeben wird, und das Fluid mit einem durch den Fluiddruckregler bestimmten Durchsatz ausgelassen wird; das Fluid zu einer Halbleiterherstellungseinrichtung geleitet wird; bei dem der Ausgabeschritt das Zuführen von Gas zu dem Druckregler bei oder unterhalb eines spezifizierten subatmosphärischen Drucks aufweist, und wobei der Druckregler so eingestellt ist, dass der Druck des ausgegebenen Fluids auf den subatmosphärischen Druck reguliert ist,

im Bereich der Bundesrepublik Deutschland Dritten zur Benutzung dort selbst anzubieten oder zu liefern;

2.) der Klägerin unter Vorlage eines einheitlichen, geordneten Verzeichnisses vollständig und wahrheitsgemäß darüber Rechnung zu legen, in welchem Umfang die Beklagten die unter Ziffer 1) bezeichneten Handlungen seit dem 28.10.2005 begangen haben, und zwar unter Angabe

a) der Menge der erhaltenen oder bestellten Erzeugnisse, sowie der Namen und Anschriften der Hersteller, Lieferanten und anderer Vorbesitzer,

b) der einzelnen Lieferungen, aufgeschlüsselt nach Liefermengen, -zeiten und –preisen und Typenbezeichnungen sowie den Namen und Anschriften der Abnehmern,

c) der einzelnen Angebote, aufgeschlüsselt nach Angebotsmengen, -zeiten und Typenbezeichnungen sowie den Namen und Anschriften der Angebotsempfänger,

d) der betriebenen Werbung, aufgeschlüsselt nach Werbeträgern, deren Auflangenhöhe, Verbreitungszeitraum und Verbreitungsgebiet,

e) der nach den einzelnen Kostenfaktoren aufgeschlüsselten Gestehungskosten und des erzielten Gewinns,

wobei den Beklagten vorbehalten bleibt, die Namen und Anschriften der bloßen Angebotsempfänger und der nicht gewerblichen Abnehmer statt der Klägerin einem von der Klägerin zu bezeichnenden, ihr gegenüber zur Verschwiegenheit verpflichteten vereidigten Wirtschaftsprüfer mitzuteilen, sofern die Beklagten dessen Kosten tragen und ihn ermächtigen und verpflichten, der Klägerin auf konkrete Anfrage mitzuteilen, ob ein bestimmter Abnehmer oder Angebotsempfänger in der Aufstellung enthalten ist.

II.

festzustellen, dass die Beklagten gesamtschuldnerisch verpflichtet sind, der Klägerin allen Schaden zu ersetzen, der ihr durch die In Ziff. I. 1. bezeichneten und seit dem 28.10.2005 begangenen Handlungen entstanden ist und noch entstehen wird.

Die Beklagten beantragen,

die Klage abzuweisen.

Sie stellen eine mittelbare Verletzung des Patentanspruchs 14 in Abrede, weil das darin geschützte Verfahren mit ihrem Produkt nicht ausgeübt werden könne. Dieses mache vielmehr von einem andersartigen Verfahren Gebrauch.

Der Begriff des Ventils in Patentanspruch 1 sei als Druckregelventil zu verstehen, mit der Folge, dass das A1 Produkt den Gegenstand des Patentanspruchs 1 nicht verwirkliche. Folge man dieser Auslegung nicht, werde sich Patentanspruch 1 als nicht rechtsbeständig erweisen, weshalb die Verhandlung jedenfalls auszusetzen sei. Es liege eine unzulässige Erweiterung vor, weil die ursprüngliche Patentanmeldung ausschließlich ein Druckregelventil offenbare, mithin ein Ventil, das auch den ausgangsseitigen Druck regele. Im Übrigen sei der Gegenstand von Patentanspruch 1 auch durch die vorveröffentlichte xx-xx x xxx xxx neuheitsschädlich vorweggenommen. Jedenfalls fehle es aber an der erforderlichen Erfindungshöhe.

Wegen des weiteren Sach- und Streitstandes wird auf die zwischen den Parteien gewechselten Schriftsätze nebst Anlagen verwiesen.

Entscheidungsgründe

I.

Die Erfindung betrifft eine Fluidspeicher- und Ausgabevorrichtung für die Halbleiterherstellung sowie ein Verfahren zur Herstellung eines Halbleiterproduktes.

Zum Hintergrund der Erfindung führt das Klagepatent einleitend aus, dass bei unterschiedlichen industriellen Prozessen und Applikationen Bedarf für eine zuverlässige Quelle eines Prozessfluids besteht. Solche Prozess- und Applikationsbereiche umfassen die Halbleiterherstellung, die Ionenimplantation, die Herstellung von Flachbildschirmen und andere Anwendungen. Gerade bei der Halbleiterherstellung werden hochtoxische Gase wie Arsin benutzt, die in unter Druck stehenden Behältern gelagert werden. Da das Austreten solcher Gase in die Atmosphäre höchst gefährlich ist, ist der Schutz vor einem solchen Austreten von höchster Wichtigkeit.

Verschiedene Steuerungsmechanismen werden benutzt, um die Abgabe von toxischen Gasen aus den Behältern zu steuern. Bei den im Stand der Technik bekannten Steuerungsmechanismen war die Sicherheit durch deren Ausgestaltung und Anordnung insoweit gefährdet, dass sie lagen und empfindlich für Beschädigungen waren. Insbesondere war es im Stand der Technik so, dass das toxische Gas in die Atmosphäre mit potentiell katastrophalen Folgen austreten konnte, wenn der außen liegende Teil des Mechanismus beschädigt wurde oder man ihn unsachgemäß behandelte.

Das französische Patent x xxx xxx, das in der Beschreibung des Klagepatents als nächstliegender Stand der Technik angesehen wird, beschreibt ein Druckreduziergerät zum Ausgeben verflüssigter Petroleumgase (Butan oder Propan), die in einer Flasche gehalten werden. Das Gas wird aus einem Auslass ausgegeben, nachdem es durch eine erste Druckreduzierstufe und zu einer zweiten Stufe, die ein steuerbares Venturi-Ventil aufweist, gelangt ist. Das Venturi-Ventil wird über eine federbelastete Membran gesteuert, um den Druck des Gases, das den Auslass verlässt, auf einen im Wesentlichen konstanten Pegel oberhalb des atmosphärischen Drucks zu regulieren.

Das Klagepatent hat es sich vor dem Hintergrund des Standes der Technik zur Aufgabe gemacht, ein verbessertes Fluidspeicher- und Ausgabesystem für das selektive Ausgeben von Gasen vorzusehen, das die aus dem Stand der Technik bekannten Mängel beseitigt. Zur Lösung dieser Aufgabe schlägt das Klagepatent in seinem Patentanspruch 1 in der erteilten Fassung eine Fluidspeicher- und Ausgabevorrichtung mit folgenden Merkmalen vor:

1. Fluidspeicher- und Ausgabevorrichtung (10, 110, 300) für die Halbleiterherstellung

a) mit einem Fluidspeicher- und Ausgabebehälter (12, 112, 302),

i. der ein Innenvolumen (15, 328) bestimmt zum Bereithalten eines unter Druck stehenden Fluides

ii. und einen Auslassanschluss (22, 133, 324) besitzt, und

2. einem in dem Innenvolumen (15, 328) des Behälters angebrachten und mit dem Anschluss in Verbindung stehenden Ventil (26, 332),

3. gekennzeichnet durch das Ventil (26, 332), das so lange geschlossen bleibt, um das Ausgeben von Fluid aus dem Behälter (12, 112, 302) durch den Anschluss zu verhindern, bis das Ventil ein unter subatmosphärischem Druck stehendes Gas von außerhalb des Behälters erhält, und auf den Erhalt des unter subatmosphärischem Druck stehenden Gases hin sich öffnet, und

4. der subatmosphärische Gasdruck einen vorbestimmten Wert nicht überschreitet.

2.

Die Klägerin hat eine Verletzung des Patentanspruches 1 durch die angegriffene Ausführungsform dargetan. Die angegriffene Ausführungsform weist ein Tellerventil im Sinne des Patentanspruches 1 auf; es ist in dem Innenvolumen des Behälters angebracht und öffnet sich auf Erhalt eines unter subatmosphärischen Druck stehenden Gases hin. Eine weitergehende Funktionsweise des Tellerventils sieht Patentanspruch 1 nicht vor.

Die Beklagten machen hiergegen geltend, dass das im Patentanspruch 1 beschriebene Ventil als Teil eines "Druckreglers" verstanden werden müsse. Dem kann nicht gefolgt werden. Entgegen der Auffassung der Beklagten ist Patentanspruch 1 nicht dahin auszulegen, dass das Tellerventil Teil eines Druckreglers zum Regulieren des Drucks des aus dem Behälter ausgegebenen Gases ist, wie dies Unteranspruch 3 vorsieht. Hierfür bietet bereits der Wortlaut des allgemein gefassten Patentanspruches 1 keinen Anlass. Dort ist in Merkmal 3 lediglich vorgesehen, dass das Ventil so lange geschlossen bleibt, um das Ausgeben von Fluid aus dem Behälter durch den Anschluss zu verhindern, bis das Ventil ein unter subatmosphärischem Druck stehendes Gas von außerhalb des Behälters erhält und sich daraufhin öffnet. Eine Regelfunktion wird hierdurch insoweit impliziert, als das Ventil bei bestimmten Bedingungen geöffnet oder geschlossen ist. Auch der Beschreibung der Erfindung in der Klagepatentschrift lassen sich keine Anhaltspunkte für ein weitergehendes technisch-funktionales Verständnis des Begriffs des Ventils entnehmen. So wird beispielsweise auf Seite 15 letzter Absatz der deutschen Übersetzung der Fluiddruckregler bzw. das Ventil beschrieben.

"Der Fluiddruckregler kann beliebiger Art sein, beispielsweise ein Druckregler der SR4 Serie, der kommerziell von Integrated Flow Systems Inc. erhältlich ist. Der Fluiddruckregler kann von der Art eines Tellerventils sein, das ein Tellerelement aufweist, welches zu einem Sitzaufbau hin vorgespannt ist, um einen Fluss bei einem Druck oberhalb eines Sollwertes zu vermeiden."

Der zitierten Textstelle kann eine Gasregelfunktion des Tellerventils als Teil eines Druckreglers im Sinne des Unteranspruches 3 nicht entnommen werden. Das Tellerventil soll vielmehr so vorgespannt sein, dass ein Gasfluss bei einem Druck oberhalb eines Sollwertes vermieden wird.

Weiter heißt es auf Seite 19 letzter Absatz der deutschen Übersetzung:

"Das Ventil 20 ist in Verbindung des Gasflusses mit dem Druckregler 26 verbunden, der herkömmlicher Art ist und ein Tellerelement verwendet, das z.B. in einen geschlossenen Zustand federvorgespannt sein kann, und bei dem der Teller verschoben wird, wenn der Druckunterschied über das Tellerelement einen gewissen Pegel überschreitet. Der Druckregler 26 kann z.B. auf einen subatmosphärischen, atmosphärischen oder superatmosphärischen Druckwert eingestellt sein, beispielsweise 700 Torr. Der spezifische Druckpegel wird in bezug auf die Flüssigkeit oder ein anderes in dem Behälter enthaltene Fluid ausgewählt, so wie es für den Speicher- und Ausgabevorgang geeignet ist."

Auch hier wird lediglich die Funktion des als Druckregler 26 beschriebenen Tellerventils beschrieben, das – wie Merkmal 3 vorsieht – sich öffnet, wenn es ein unter einem eingestellten Druck stehendes Gas erhält; in Merkmal 3 ist dies ein unter subatmosphärischem Druck stehendes Gas.

Die von den Beklagten zur Begründung ihrer Auffassung genannte Textstelle auf Seite 6 Absatz 3 führt zu keiner anderen Sichtweise. An der genannten Stelle wird auf Stand der Technik, die französische Patentschrift x,xxx,xxx, Bezug genommen und u.a. ausgeführt, dass das Venturi-Ventil über eine federbelastete Membran gesteuert wird, um den Druck des Gases, das den Auslass verlässt, auf einen im Wesentlichen konstanten Pegel oberhalb des atmosphärischen Drucks zu regulieren. Dass das Klagepatent gerade auf diese konkrete Ausgestaltung des Standes der Technik aufbauen will, ist nicht ausgeführt und die vorstehend genannten Textstellen der Beschreibung der Erfindung zeigen, dass ein solcher konstanter Druck am Auslass des Gases gerade nicht Gegenstand des weiter gefassten Patentanspruches 1 sein muss, sondern vielmehr erst im Unteranspruch 3 als bevorzugte Ausführungsform unter Schutz gestellt wird.

Im Übrigen ergibt sich aus den Darlegungen im Klagepatent (Anlage AS 3 Seite 6 letzter Absatz bis Umbruch Seite 7) kein Anhalt dafür, dass sich Patentanspruch 1 des Klagepatentes gegenüber der französischen Druckschrift x xxx xxx dadurch abgrenzt, dass eine größere Konstanz des Ausgabedrucks gewährleistet wird. Vielmehr erfolgt dies dadurch, dass das Ventil beim Klagepatent nur bei Anlagen eines subatmosphärischen Drucks öffnet und somit bei Beschädigung des Ausgabestutzens kein Gas durch das Ventil abgegeben wird, während der Referenzdruck bei der französischen Druckschrift atmosphärischer Druck ist.

Auch die weiteren Textstellen – Seiten 15 Absätze 3 und 4, Seite 21 Absatz 3 und Seite 25 letzter Absatz - führen zu keiner anderen Sichtweise. Denn hierbei handelt es sich um Beschreibungen bevorzugter Ausführungsformen der Erfindung, deren Schutz Eingang in die Unteransprüche gefunden hat und die den Gegenstand der Erfindung nicht beschränken (vgl. BGH, GRUR 2004, xxxx – Bodenseitige Vereinzelungsvorrichtung).

Etwas anderes ergibt sich auch nicht auf Grund der Ausführungen des Privatgutachters der Antragsgegnerinnen xx. xx in seinem Gutachten vom 3. Juli 2006 (Anlage B 10). Denn dieser legt seinen Ausführungen keine am Patentanspruch ausgerichtete Auslegung zugrunde, sondern begründet sein Verständnis des Begriffs der Regelung und des Ventils lediglich anhand des allgemeinen Fachwissens eines Durchschnittsfachmanns. Art. 69 EPÜ sieht jedoch vor, dass der Schutzbereich eines europäischen Patentes durch den Inhalt der Patentansprüche bestimmt wird. Patentanspruch 1 sieht die von xx. xx vorgenommene Abgrenzung nicht vor. So mag die von dem Privatgutachter vorgenommene Unterscheidung zwischen Stetig- und Zweipunktreglern (Seite 5 des Gutachtens) und deren unterschiedliche Funktionsweise aus der allgemeinen Sicht eines Fachmannes zutreffend sein. Anhand der Ausführungen des Privatgutachters ergibt sich jedoch nicht, dass diese Unterscheidung Eingang in den Patentanspruch 1 gefunden hat.

3.

Auf der Grundlage des Vorbringens der Parteien ist nicht erkennbar, dass die angegriffene Ausführungsform von dem in Patentanspruch 14 unter Schutz gestellten Verfahren Gebrauch macht. Insbesondere fehlt es an einer Verwirklichung des Merkmals 5.

Nach der in Patentanspruch 14 beschriebenen Verfahrenslehre wird der Druckregler, der in dem Innenvolumen in einer Fluidflussbahn angeordnet ist, zur Eingrenzung des in dem Innenvolumen befindlichen Fluids eingesetzt. Dies geschieht dadurch, dass die Fluidflussbahn durch den Druckregler gegenüber einem Fluidfluss stromabwärts des Druckreglers geschlossen ist, Merkmal 2. Das Fluid wird durch den geschlossenen Druckregler in dem Innenvolumen des unter Druck stehenden Behälters gehalten. Dem Regler kommt aber nicht nur die Funktion zu, die Fluidbahn stromabwärts geschlossen zu halten. Vielmehr soll es darüber hinaus auch möglich sein, das eingegrenzte Fluid durch Öffnen der Fluidflussbahn durch den Druckregler hindurch und stromabwärts selektiv auszugeben und das Fluid mit einem durch den Fluiddruckregler bestimmten Durchsatz auszulassen, wie Merkmal 3 entnommen werden kann. Dabei ist die Möglichkeit der selektiven Fluidausgabe mit einem bestimmten Durchsatz, ist kein Zweck an sich, sondern in Verbindung mit Merkmal 5 zu sehen. Danach soll zum Einen das Fluid bei einem bestimmten subatmosphärischen Druck ausgegeben werden und zum Anderen der Druck des ausgegebenen Fluids auf diesen bestimmten subatmosphärischen Druck reguliert sein. Dieser Zusammenhang wird in der Beschreibung an einem Beispiel veranschaulicht, bei dem ein Druckregler beliebiger Art auf einen geeigneten Pegel von etwa 700 Torr eingestellt werden kann, um einen Fluss von ausgegebenen Fluid aus dem Speicher und Ausgabebehälter bei einem solchen Sollwertdruckpegel vorzusehen (vgl. Anlage K 3, S. 16, Abs. 1; S. 20, Abs. 1). Der Druckregler stellt sicher, dass der Druckpegel des ausgegebenen Fluids bei 700 Torr liegt, indem er das eingegrenzte Fluid durch Öffnen der Fluidflussbahn selektiv und mit einem bestimmten Durchsatz ausgibt.

Die Klägerin meint, dass Merkmal 5 nicht dahin zu verstehen sei, dass der Druckpegel des ausgegebenen Fluids auf einen konstanten Wert geregelt sein müsse. Vielmehr seien Schwankungen von 5 % des Abgabedrucks, wie sie in der Werbung der Beklagten wiedergegeben worden seien (vgl. Anlage K 7, Slide 9: Abfallen des Abgabedrucks um ca. 10 Torr) bzw. Schwankungen von 10 % das Abgabedrucks, wie sie bei der angegriffenen Ausführungsform nach den Angaben der Beklagten in Abbildung 5 des Privatgutachtens von xx. xx angegeben seien (Anlage B 10, Seite 9: Abfall des Abgabedrucks von ca. 370 Torr und ca. 330 Torr) noch zu tolerieren. Die Klägerin verweist in diesem Zusammenhang auch auf eine wissenschaftliche Veröffentlichung, wonach die normalen Leistungsanforderungen bei Reglern nicht sehr streng seien, weil die meisten Massenflusskontrollvorrichtungen über einen Bereich von 30 psi arbeiteten, so lange es keine plötzlichen Druckänderungen gebe. (vgl. Anlage K 14, S. 2, l. Sp.; Übersetzung aus dem Englischen). Ob der Klägerin in dieser Ansicht zu folgen ist, obwohl Merkmal 5 ausdrücklich fordert, dass der Druck des ausgegebenen Fluids auf den subatmosphärischen Druck reguliert sein soll, kann dahin stehen. Denn jedenfalls verlangt Merkmal, dass die Regulierung des ausgegebenen Fluids auf den subatmosphärischen Druck mittels einer selektiven Ausgabe des eingegrenzten Fluids und durch Auslassen des Fluids mit einem bestimmten Durchsatz erfolgen soll und zwar bewirkt durch den Druckregler. Zwischen den Parteien ist jedoch unstreitig, dass

Die Ausgabe des Fluids darf damit nicht rein zufällig geschehen, sondern hat sich nach ausgewählten Sollwerten zu richten. In der Beschreibung wird dazu erläuternd ausgeführt, dass der Regler eine Flussteuervorrichtung ist, die auf einen vorbestimmten subatmosphärischen Druckpegel eingestellt werden kann, um Gas oder Dampf aus dem Zylinder bei einem solchen Druckpegel auszugeben (Anlage K 3, S. 11, Abs. 2). Der Druckregler soll also auf einen Sollwertdruck eingestellt werden können, beispielsweise 700 Torr. Bei Erreichen des Wertes ("Druckpegel") wird Fluid aus dem Innenvolumen des Behälters durch den Druckregler ausgegeben (vgl. Anlage K 3, S. 16, Abs. 1). Hingegen findet bei einem Druckpegel oberhalb des Sollwertes ein Fluidfluss nicht statt (vgl. Anlage K 3, S. 15, letzter Absatz). Merkmal 3 sieht weiter vor, dass das Fluid mit einem durch den Fluiddruckregler bestimmten Durchsatz ausgelassen wird.

Die zweite Funktion des Fluiddruckreglers besteht mithin darin, das Fluid selektiv und mit einem bestimmten Durchsatz auszugeben. Die dritte Funktion des Druckreglers bestimmt Merkmal 5. Danach soll die Ausgabe von Fluid nur bei Anliegen eines spezifizierten subatmosphärischen Druckes erfolgen und der Druck des ausgegebenen Fluids auf den subatmosphärischen Druck reguliert sein. Dies wird in der Beschreibung beispielsweise dahin erläutert, dass der Fluiddruckregler auf einen geeigneten Pegel, beispielsweise 700 Torr, eingestellt sein kann (Anlage K 3, S. 16, Abs. 1).

Die Klägerin trägt vor, dass bei der angegriffenen Ausführungsform eine selektive Ausgabe und Bestimmung des Durchsatzes durch ein Tellerventil erfolge, das durch einen in einem Zylinder angeordneten Blasebalg gesteuert werde (vgl. oben Anlage K 7, slide 6). Der Balg mit einem speziellen Innendruck versehen. Er dehne sich aus, wenn Gas mit subatmosphärischem Druck von außerhalb des Zylinders angelegt werde. Durch Ausdehnen des Blasebalgs werde das Tellerventil, das sonst durch eine vorgespannte Feder geschlossen gehalten werde, nach unten gedrückt, so dass das Gas aus dem Zylinder an dem Blasebalg vorbei stromabwärts ausströme. Dieses Gas stehe im Zylinder unter hohem Druck. Wenn es – kontrolliert durch das Tellerventil – in gewisser Menge ausströme verteile es sich sofort in der Umgebung des Blasebalgs. Dadurch steige der Druck des Gases in der Umgebung des Blasebalgs an. Dies wiederum habe zur Folge, dass der Blasebalg sich zusammenziehe und dabei das Tellerventil wieder tendenziell schließe. Das Tellerventil werde also in Richtung der geschlossenen Stellung bewegt, wodurch eine Drosselung der Gasausgabe eintrete. Dies habe wiederum zur Folge, dass sich durch das Abströmen des ausgegebenen Gases zu dem Abgabeort der Umgebungsdruck des Blasebalges verringere, sich der Blasebalg infolgedessen wieder ausdehne und sich das Ventil tendenziell weiter in die geöffnete Position verschiebe.

Durch diesen Mechanismus, der durch den vorgegebenen Innendruck des Blasebalges und dessen abgestimmter Trägheit bei der Reaktion auf die verschiedenen Druckverhältnisse in der Umgebung des Blasebalgs vorgegeben sei, werde das Fluid am Ventil selektiv ausgegeben. Bei der beanstandeten Ausführungsform bestehe die Selektion darin, dass der Regler so eingestellt sei, dass das Ventil bei einem aus dem Betriebsbereich von 200 bis 400 Torr ausgewählten Wert öffne. Da das Ventil träge sei, öffne und schließe es nicht exakt bei diesem Wert sondern mit einer gewissen Schwankungsbreite. Diese liege nach dem Privatgutachten von xx. xx bei 40 Torr. Lege man slide 9 der als Anlage K 7 vorgelegten Präsentation der Beklagten zugrunde möge die Schwankungsbreite sogar noch geringer sein und zwar bei ungefähr 10 Torr. Das Klagepatent setze aber nicht voraus, dass die Ausgabe innerhalb eines auf Null reduzierten oder auch nur engen Schwankungsbereiches erfolge.

Dem halten die Beklagten entgegen, dass sich das Ventil der angegriffenen Ausführungsform nicht – wie von der Klägerin behauptet – bei der Gasabgabe andauernd abwechselnd öffne und schließe. Das A1-System wirke nicht als Regler, weil es einem Absenken des Ausgabedrucks bei erhöhtem Durchsatz nicht entgegensteuern könne. Zutreffend sei zwar am Vorbringen der Klägerin, dass das Tellerelement des Ventils, die Ventilöffnung freigebe, wenn ein auslassseitiger Druck anliege, der unterhalb des durch die Befüllung des Balgs vorgegebenen subatmosphärischen Drucks liege, wodurch das Gas durch den Auslass und damit auch zum Balg ströme. Bei dem A1-System bleibe das Ventil jedoch bei der Gasabgabe andauernd geöffnet, weil die beim Öffnen des Ventils durchgelassene Gasmenge kleiner als die vom Durchsatzregler angeforderte Gasmenge sei. Es liege kein Regelverhalten vor. Die vom Durchsatzregler angeforderte Gasmenge werde nur dadurch erreicht, dass der auslassseitige Druck durch das von dem Durchsatzregler veranlasste Abpumpen unter den am Balg eingestellten Druck absinke, wodurch die Druckdifferenz zwischen Ventileinlass und Ventilauslass vergrößert und entsprechend mehr Gas durch das Ventil getrieben werde. Als Folge sinke dann der auslassseitige Druck mit zunehmendem Durchsatz ab, wie sich aus Bild 5 des Privatgutachtens von xx. xx ergebe.

Bei der angegriffenen Ausführungsform werde das eingegrenzte Fluid durch das Ventil auch nicht – wie in Merkmal 3 vorgesehen - selektiv ausgegeben. Vielmehr könne lediglich der Druck eingestellt werden, bei dem das Ventil öffne. Ein Öffnen und Schließen in einem vorgegebenen Bereich finde nicht statt.

Das unterdruckbetätigte Absperrventil der angegriffenen Ausführungsform erfülle – zusammen mit einem Vorwiderstand - lediglich die Funktion eines konstanten Strömungswiderstandes ("Capilaries") nicht aber die eines Durchflussreglers. Diese Aufgabe werde bei dem A1-System vielmehr von dem Mass Flow Controller wahrgenommen.

Auf der Grundlage des bisherigen Vorbringens der Parteien kann eine Verwirklichung des Merkmals 5 nicht festgestellt werden. Den Darlegungen der Klägerin ist zwar die Behauptung entnehmen, dass das Tellerventil der angegriffenen Ausführungsform wie ein Zweipunktregler funktionieren soll, wenn Gas mit subatmosphärischem Druck von außerhalb des Zylinders angelegt wird. Dann werde das Ventil zwar aufgrund der Ausdehnung des Blasebalges zunächst geöffnet, sei aber alsbald aufgrund des ausströmenden, den Druck vermindernden Gases wieder bestrebt, sich zu schließen, was wiederum eine Verringerung des ausströmenden Gases und damit ein Öffnen des Ventils zur Folge habe, u.s.w. Dem Vorbringen der Klägerin stehen jedoch die Darlegungen der Beklagten entgegen, wonach das Ventil zwar bei einem bestimmten subatmosphärischen Druck-Wert öffnet, es dann aber während des Betriebszustandes ständig geöffnet ist. Denn dann wird der Druck nicht durch das Tellerventil auf den subatmosphärischen Druckpegel reguliert, so wie dies in Merkmal 5 vorgesehen ist. Das Vorbringen der Beklagten wird durch die Bilder 4 und 5 des Privatgutachtens von xx. xx die auf Vergleichsmessungen der Beklagten beruhen, gestützt. Danach bildet sich bei dem beanstandeten A1-System die für einen Druckverlauf bei Zwei-Punkt-Reglern typische Sägeformation nur dann aus, wenn der üblicherweise vorhandene Vorwiderstand entfernt wurde und durch extremes Absenken des Versorgungsdrucks ein Betriebszustand außerhalb des vorgesehenen Arbeitsbereichs hergestellt wurde, was zur Folge hatte, dass das Ventil tatsächlich schaltete, wie dies bei einem Zwei-Punkt-Regler zu erwarten wäre (vgl. Bild 4). Hingegen fehlt es an derartigen Regelbewegungen bei der angegriffenen Ausführungsform bei bestimmungsgemäßem Betrieb, wie aus Bild 5 ersehen werden kann, wonach bei treppenförmig ansteigendem Durchfluss der Sekundärdruck ebenso treppenförmig von ca. 370 Torr auf ca. 330 Torr absank, ohne dass das Ventil geschaltet hätte. Vor diesem Hintergrund hätte es der Beklagten nach den allgemeinen Regeln der Darlegungs- und Beweislastverteilung obgelegen, ihrerseits Messungen durchzuführen, die ihren Vortrag, wonach die angegriffenen Ausführungsform wie ein Zweipunktregler funktioniert, belegen. Ohne solche Messungen stellt sich ihr Vorbringen als bloße Mutmaßung dar, die eine Beweisaufnahme nicht zu rechtfertigen vermag, weil dies auf eine prozessrechtlich unzulässige Beweiserforschung hinausliefe.

II.

1.

Der Rechtsbestand des für den vorliegenden Rechtsstreit maßgeblichen Patentanspruches 1 des Klagepatentes erscheint hinreichend gesichert. Es kann nicht mit dem erforderlichen Grad an Gewissheit davon ausgegangen werden, dass Patentanspruch 1 des Klagepatentes im Rahmen des von der Antragsgegnerin zu 2. erhobenen Einspruches widerrufen wird.

Die Antragsgegnerinnen machen geltend, dass Patentanspruch 1 gegenüber der ursprünglichen Anmeldung unzulässig erweitert sei und die US-amerikanische Patentschrift x,xxx,xxx (Anlage B 8, deutsche Übersetzung Anlage B 8a, nachfolgend E), der Lehre nach dem Klagepatent entgegen stehe.

a)

Entgegen der Auffassung der Antragsgegnerinnen ist Patentanspruch 1 nicht gegenüber der ursprünglichen Offenbarung erweitert.

Die Antragsgegnerinnen haben als Anlage B 7 die ursprüngliche Anmeldung, die xx xx/xxxxx (Anlage B 7a, deutsche Übersetzung) vorgelegt und machen geltend, dass eine unzulässige Erweiterung vorliege, da in der ursprünglichen Anmeldung ein "Fluiddruckregler" offenbart sei, der im Innenvolumen eines Behälters angeordnet sei, Anspruch 1 des Klagepatentes beziehe sich vielmehr auf ein in dem Innenvolumen montiertes "Ventil". Der Begriff Fluiddruckregler sei ein Begriff, der spezifischer sei als der allgemeine Begriff Ventil, so dass eine unzulässige Erweiterung gemäß Art. 132 Abs. 2 EPÜ vorliege.

In Anlehnung an die unter Ziffer a) gemachten Ausführungen liegt eine unzulässige Erweiterung nicht vor. Bereits die ursprüngliche Anmeldung des Klagepatentes lehrte die Verwendung von Ventilen (insbesondere Tellerventilen), bei denen der Ausgabedruck dadurch reguliert wird, dass sie bei einem voreingestellten unteratmosphärischen Druck öffnen und bei Druck oberhalb des Sollwerts schließen, d.h. den Durchfluss vermeiden, wie auf Seite 7 vorletzter Absatz ausgeführt:

"Der Speicher- und Ausgabebehälter kann auf einfache Weise dadurch gefüllt werden, dass der Fluiddruckregler auf einen geeigneten Niedrigdruckpegel derart eingestellt wird, dass das Gas oder der Dampf unter einem Druck unterhalb des Sollwertes des Druckreglers steht, und zwar unter Verwendung eines herkömmlichen Druckreglers, der ein Tellerelement umfasst, das mit einem Vorspannelement, beispielsweise einem Federvorspannelement, in eine geschlossene Position vorgespannt werden kann, und der auf einen Druck oberhalb des Sollwertdruckes dahingehend reagiert, dass es geschlossen bleibt, aber auf einen Druck unterhalb des Sollwertdrucks dahingehend reagiert, dass es sich öffnet und den Fluidfluss hierdurch ermöglicht."

Auf Seite 13 Absatz 3, welcher der zitierten Aussage auf Seite 15 letzter Absatz des Klagepatentes entspricht, wird dann der Fluiddruckregler weiter präzisiert. Auf Seite 16 Absatz 3 (entspricht Seite 19 letzter Absatz der Klagepatentschrift) wird dann beschrieben, dass der Druckregler ein Tellerelement verwendet. Indem der Teller verlagert wird, wenn der Druckunterschied über das Tellerelement einen gewissen Pegel überschreitet, erfolgt ein Öffnen und Schließen. Durch dieses Öffnen und Schließen tritt eine Begrenzung des Gasdrucks auf eine maximalen subatmosphärischen Druck gemäß Merkmal 4 des Anspruchs 1 ein.

Die ursprüngliche Offenbarung selbst beschränkt mithin das Tellerventil 26 nicht lediglich auf einen Fluiddruckregler mit der von den Antragsgegnerinnen beschriebenen Funktion. In der Offenbarung wird das Tellerventil dahingehend beschrieben, dass es lediglich die in Merkmal 3 beschriebene Funktion des Öffnens und Schließen bei Anlegen eines bestimmten Drucks aufweisen muss.

Da mithin das in Patentanspruch 1 vorgesehene Tellerventil keine Regelfunktion im Sinne eines Konstanthaltens des Druckes bei Ausgabe aufweisen muss, macht die angegriffene Ausführungsform, das Praxair-System, zwischen den Parteien unstreitig von der Lehre des Patentanspruches Gebrauch. Unstreitig weist die Ausführungsform, wie auch den im Tatbestand abgebildeten Darstellungen entnommen werden kann, ein Tellerventil auf, das sich bei Erhalt subatmosphärischen Gases hin öffnet.

b)

Entgegen der Auffassung der Antragsgegnerinnen steht die Druckschrift E der Erfindung nach dem Klagepatent nicht entgegen. Vorweggeschickt werden kann, dass das E-Patent nicht die Ursache für den Widerruf des US-amerikanischen Prioritätsdokumentes x,xxx,xxx vor dem United States District Court Southern District of New York war (vgl. Anlage B 9, deutsche Übersetzung B 9a).

Die Entgegenhaltung E, welche in der einleitenden Beschreibung des Standes der Technik in der Klagepatentschrift genannt wird, zeigt zwei Ausführungsformen, die erste bezieht sich auf die Figuren 1 bis 3, die zweite auf Figur 4, wobei der grundsätzliche Aufbau der ersten Ausführungsform in der zweiten beibehalten wird. Nachfolgend abgebildet sind die Figuren 1 und 4 der Entgegenhaltung. Figur 1 zeigt eine bildhafte Schnittansicht des Ventils, Figur 4 eine Schnittansicht des Ventils gemäß Figur 1, welches eine verbesserten Druckregler aufweist.

Die erste Ausführungsform, welche in Figur 1 gezeigt wird, umfasst ein einziges knopfbetätigtes Ventil, welches über den Knopf 39 betätigt werden kann, um den Gasstrom aus der Gasflasche zu einem Auslass 11 zu öffnen oder zu schließen. Das knopfbetätigte Ventil weist ferner einen Magneten 37 auf, der mittels magnetischer Abstoßungskräfte über einen in dem Knopf 39 enthaltenen Magneten 41 betätigt werden kann und welcher verschiebbar angeordnet ist, um selektiv die Steuerkraft auf eine Stange 33 auszuüben, die mit einem Kolbenelement 25 verbunden ist, welches eine Elastomerdichtung 23 trägt, um die Elastomerdichtung zu verlagern. Die Ventilanordnung weist ein zylindrisches Gehäuse auf, welches einen Einlasskanal 17, der zu der Gasflasche hin offen ist, einen Auslasskanal 19, der zu dem Auslass 11 hin offen ist, sowie eine zentrale innere Öffnung 15 aufweist, über welche der Einlasskanal 17 und der Auslasskanal 19 in Verbindung stehen. Die Dichtung 23 des Kolbenelementes 25 ist mittels einer Feder 29 in eine fluiddichte, normalerweise geschlossene Dichtanordnung mit einem Ventilsitz 21 vorgespannt, der an der dem Einlasskanal 17 zugewandten Seite der Öffnung 15 vorgesehen ist. Die Feder 29 sitzt auf einem Halter 31, welcher mit dem Körper 9 in Eingriff steht und welcher mit einem Fluiddurchlass 32 versehen ist, damit die Öffnung 15 mit dem Einlasskanal 17 in Verbindung stehen kann. Figur 1 zeigt den geschlossenen Zustand des Hauptventils, wobei der Knopf 39 nicht betätigt ist. In diesem Fall wird ein Fluidstrom durch die zentrale Öffnung 15 hindurch mittels des fluiddichten Eingriffs der Dichtung 23 mit dem Ventilsitz 21 verhindert, wobei dieser Eingriff durch die Vorspannkraft der Feder 29 vermittelt wird. Figur 2 zeigt den Zustand des Hauptventils, wenn der Knopf 39 mittels einer externen Kraft 42 betätigt wird. In diesem Fall wird auf Grund der magnetischen Abstoßung zwischen den Magneten 41 und 37 der Magnet nach unten bewegt, wodurch das Kolbenelement 25 und die Dichtung 23 entgegen der Vorspannkraft der Feder 29 über die Stange 33 nach unten bewegt werden, wodurch der Fluidstrom durch die zentrale Öffnung 15 hindurch geöffnet wird.

Die zweite Ausführungsform ist in Figur 4 gezeigt. Dort ist stromauf des beschriebenen Hauptventils ein zweites Ventil – Druckreglerventil - vorgesehen, welches innerhalb des Einlasskanals 17 angeordnet ist, zeigt mithin eine zweistufige Anordnung, die aus dem Hauptventil und dem zweiten Druckreglerventil besteht. Das Druckreglerventil ist folgendermaßen aufgebaut:

Ein abgedichteter Faltenbalg 55 mit flexiblen Seitenwänden 57 und einer Endwand 59 ist auf der Unterseite des Federhalters 31 montiert. Die Endwand 59 wirkt auf eine zentrale Stange 61, welche an einem Hilfskolben 62 befestigt ist, der eine Elastomerdichtung 65 trägt. An dem unteren Ende des Einlasskanals 17 ist ein Untergehäuse 10 vorgesehen, welches fest mit dem Körper 9 verbunden ist. Das Untergehäuse 10 ist mit einer zweiten Öffnung 63 versehen, die stromauf der ersten (zentralen) Öffnung 15 angeordnet ist. Das Untergehäuse 10 umschließt den Kolben 62 mit der Dichtung 65 und ist mit einem Federhalter 69 versehen, der eine Feder trägt, welche den Kolben 62 und die Dichtung 65 nach oben in fluiddichten Dichteeingriff mit dem unteren Ende der Öffnung 63 vorspannt. Der Federhalter 69 ist mit Durchlässen versehen, um eine Verbindung der Öffnung 63 mit dem Inneren der Gasflasche herzustellen. Der Balg 55 ist mit Gas bei einem ausgewählten Druck gefüllt, der repräsentativ für den Wert des Gasdrucks ist, um welchen herum die Druckregelung erfolgen soll.

Die Entgegenhaltung E offenbart jedenfalls das Merkmal 2 nicht. Denn bei dem offenbarten Absperr- und Stromregelventil ist das Ventil nicht in dem Innenvolumen des Behälters angebracht (Merkmal 2). Das Absperrventil und der Regler sind in der Entgegenhaltung in demselben Gehäuse 9, 10 untergebracht, das sich von dem Hals des Gasbehälters nach oben hin erstreckt. Der Regler befindet sich nicht in dem geschützten Bereich des Innenvolumens, so dass er anfällig für Beschädigungen von außen ist. Eine Beschädigung des Hauptabsperrventils hat unweigerlich eine Beschädigung auch des Reglers zur Folge. Das Klagepatent hat es sich jedoch gerade zur Aufgabe gemacht, die aus dem Stand der Technik bekannten Mängel zu beseitigen, wozu insbesondere auch die Anfälligkeit für Beschädigungen des Reglers gehört (vgl. Seite 4 der deutschen Übersetzung des Klagepatentes). Beschädigungen des Reglers führen zu undichten Stellen und Leckagen des Hochdruckzylinders und damit zur ungewollten Freigabe des zumeist in dem Behälter enthaltenen hochgiftigen Gases und der damit einhergehenden Gefährdung von Menschen und Umwelt. Den Antragsgegnerinnen kann nicht dahingehend zugestimmt werden, dass das Druckreglerventil sich innerhalb des Innenvolumens der Flasche befindet. Der Regler befindet sich vielmehr, wie der Figur 4 entnommen werden kann, lediglich im Hals eines Gaszylinders. Hierbei handelt es sich jedoch nicht um das Innenvolumen, das nach Anspruch 1 des Klagepatents zum Bereithalten eines unter Druck stehenden Fluids bestimmt sein soll und in dem der Regler gleichermaßen vor äußeren Einflüssen geschützt ist wie das Fluid selbst.

Dass der Zylinderhals zum erfindungsgemäßen Innenvolumen gehört, kann – entgegen der Auffassung der Antragsgegnerinnen – auch nicht der Figur 1 des Klagepatentes entnommen werden. Zwar ist dort der mit dem Bezugszeichen 26 bezeichnete Druckregel zumindest in einem geringen oberen Bereich in dem Zylinderhals angeordnet. Figur 1 stellt jedoch eine rein schematische Darstellung der Erfindung dar, ohne die einzelnen Bauteile und deren Anordnung in dem Zylinder genauer anzugeben. Figur 3 der Klagepatentschrift, welche im Tatbestand wiedergegeben wurde, zeigt den Aufbau des erfindungsgemäßen Verteilungssystems in konstruktiven Details und dort ist das Ventil/Regler, welches mit der Bezugsziffer 332 gekennzeichnet ist, eindeutig im Inneren des Zylinders angeordnet. Im Übrigen ragt das in Figur 1 das mit der Bezugsziffer 26 gekennzeichnete Ventil lediglich in den Bereich der Öffnung, der noch von der Behälterwand umgeben ist und in den noch – entsprechend der Definition in Patentanspruch 1 - unter Druck stehendes Fluid gelangen kann, weil das Ventil von den Seitenwänden der Öffnung beabstandet ist. Insofern unterscheidet es sich von der in Figur 4 der Entgegenhaltung gezeigten Anordnung, bei der das Ventil im Wesentlichen in Höhe des Außengewindes angeordnet ist und damit weitgehend im Hals des Gasbehälters, der infolge dieser Anordnung von dem Fluid nicht erreicht werden kann.

Vor diesem Hintergrund begründet die E-Schrift auch keine Zweifel an der Erfindungshöhe des Gegenstandes der Erfindung. Denn legt der Fachmann die E-Schrift seinen Überlegungen zugrunde, wie er das beschriebene Ventil, welches am bzw. im Hals des Gasversorgungszylinders angebracht ist, vor Beschädigungen und Abriss sichern kann, gibt ihm die Druckschrift keinen Hinweis, das Hauptsperrventil von dem weiteren Druckregler räumlich zu trennen und den Druckregler innerhalb des Innenvolumens des Behälters anzuordnen. Das in der E-Schrift offenbarte Hauptabsperrventil und der Druckregler sind vielmehr in dem gleichen Gehäuse untergebracht, was dem Fachmann keine Anregung zu einer Trennung und Anordnung im Innenvolumen bietet.

III.

Die Kostenentscheidung beruht auf § 91 Abs. 1 ZPO.

Der Streitwert beträgt 500.000,- EUR.